የተለመዱ ግሪቶች በአሁኑ የፖሊሽ መተግበሪያዎች ውስጥ ምን ያህል አስተዋጽኦ አላቸው?

በተለመዱ አብሬስቪች ላይ የሚከሰቱ የእርግዝና፣ የማይነቅ እና የተበላሹ ችግሮች

የተለመዱት የፖሊሽ ፓድስ ላይ ያሉት የግሪት ክፍሎች በጭንቀት ተጫብተው በፍጥነት ይሰረዛሉ፣ ይህም ማለት እነዚህ ክፍሎች በማያስተዋል መልኩ ይፈሳሉ እና በተለያዩ መንገዶች የፀሐይ ውስጣዊ ግራንታ ይተርከባሉ። በዚህ ሂደት ውስጥ የአብሬዝቪ ክፍሎች በማያስተዋል መልኩ ተበላሸው በመሆኑ አስቀድሞ የሚገኙ ትንካዮችን ላይ የሚገኙ ትንካዮችን ይፈጥራሉ እና አንዳንድ ጊዜ የውሃ ምንጮችን በቀጥታ ወደ የሚሰራበት የስራ ነገር ያስገባሉ። ይህ ለሴሚኮንዳክተር ምርት ሂደቶች አስቸጋሪ ችግር ይፈጥራል። በፖኔሞን ኢንስቲትዩት በ2023 ዓ.ም. የተደረገው ጥናት መሰረት በተለየ ሁኔታ የሚከሰቱ የተለያዩ ክፍሎች ብቻ የሚያስከትሉ ክስተቶች በእያንዳንዱ ጊዜ ስለ ሶስት መቶ አራት መቶ ሺህ ዶላር የሚገቡ ክፍያዎች ይፈጥራሉ። በዚህ ምክንያት እነዚህ ፓድስ በፍጥነት ይጠፋሉ እና በተደጋጋሚ ይተካሉ፣ እና በተጨማሪ የሥራ ሂደቱ ቅንጅቶች በተደጋጋሚ ይስተካከላሉ። ሁሉ ይህ በአጠቃላይ በአዲስ እና የተሻለ ቴክኖሎጂ የሚገኘውን አማካይ ጊዜ የሚያስከትለው የሥራ አቃል ጊዜ በ15 እስከ 30 በመቶ ድረስ ይጨምራል።

በፍተሻ ቴክኖሎጂ ምርት ውስጥ ከሚከሰቱ ሚክሮን በታች የፀደይ ጥራት ማድረግ ውስጥ ያሉ ፈተናዎች

የተለመዱ የማፈሳሽ እቃዎች በሚከሰቱ ሚክሮን በታች ያሉ ከፍተኛ የአቅጣጫ ጥራቶችን ለማድረግ የሚያገለግሉ አይደሉም። በብዙ የተለመዱ የማፈሳሽ የውህደት እቃዎች የተለያዩ ክብደቶች ያላቸው ክፍልፋሎች አሉባቸው፣ እነዚህ በሁሉም ጊዜ በ20 በመቶ በላይ ይለያላሉ። ይህ የማይስተካከል የሆነ አቀማመጥ የፀደይ ስዕሉን የሚያበላሽ እና የኦፕቲካል ክፍሎች እና የሲሊኮን ወይፍር የፀደይ አካል መጨረሻ ላይ ጥፋት የሚያስከትል ነው። በእያንዳንዱ የማፈሳሽ ክብደት እያንዳንዱ የመጀመሪያ የማፈሳሽ ክፍል በግልጽ ለማስቀረት የሚያደርግ የሙሉ ቅደም ተከተል የማፈሳሽ አቀራረብ በዚህ ሂደት ውስጥ ዋና የሆኑ ደረጃዎች ላይ በቀላሉ ይሰርዛል። በዚህ ጊዜ ቴክኒሻኖች በእጅ የሚሰሩ ስራዎችን ማድረግ ይገባል፣ ይህም በጣም ትክክለኛ ስራዎች ውስጥ ምርትን በ40 በመቶ ድረስ ማ зам slowing ይችላል። ምርታቾች በחומרים ውስጥ የክፍሎች መበላሸት እና የማዘጋጃ መስፈርት ላይ ጥንቃቄ ሳይደርጉ ከፍተኛ የሌዘር ጥራት ያላቸው የፀደይ አካሎችን ማድረግ የማይስተካከል እና የማይስተዋወቅ ፈተና ይሆናል።

ንኖዲያሞንድ ኢኖቫሽኖች እንዴት እንደሚቀይሩ ፖሊሽ ፓድ የስራ አፈፃፀም

የንኖዲያሞንዶች የተሻለ ቅ cứngነት፣ የተመሳሳይነት እና የሙቀት መከላከል

ንኖዲያሞንዶች የሚለዩበት በሞሃስ ምእዛን ላይ በግምት 10 የሆነው ከፍተኛ ቅ cứngነት፣ በሙሉ የተመሳሳይ የተከሰቱ ክብደቶች እና በግምት 2000 ዋት/ሜትር·ኬልቪን የሆነው የሙቀት መከላከል (በአጠቃላይ አብራሲቮች የሆኑ አሉሚና ወይም ሳሊካ የሚያሳዩትን ከ50 ጊዜ በላይ የበለጠ ነው) ነው። እነዚህ ባህሪያት የፖሊሽ ፓዶች የበለጠ የሚቆዩ ያደርገዋል፣ ምክንያቱም ከሌሎች አማራጮች ጋር ሲነፃፀር በግምት 35% የበለጠ ይቆያሉ። እንዲሁም ለተለያዩ የፀረ ተለያዩ የስራ አቀማጮች ላይ የተመሳሳይ ግፊት እንዲቆይ ያስችላሉ እና የፖሊሽ ሂደት ወቅት የበለጠ ሙቀት እንዲታገድ ያስችላሉ፣ ስለዚህ የሙቀት ምክንያት የሚከሰቱ የውሃ ማጠናከር ወይም የውሃ ጥቅም ላይ የሚውለዱ ጉዳዮች በጣም ያነሱ ይሆናሉ። በመሠረቱ፣ እነዚህ ዲያሞንዶች በባህላዊ ግሪት ቁሳቁሶች ላይ የሚከሰቱ ብዙ ጉዳዮችን ያስወግዳሉ፣ ይህም በፍጥነት የሚጠፋው፣ የማይመሳሰል የመጨረሻ ውይይት እና የሙቀት ምክንያት የሚከሰቱ የተለያዩ ጉዳዮች ናቸው የ substrate ን ማጠናከር ወይም የ substrate ን በሙሉ ማቃጠል ይችላሉ።

የተሻለ የחומרים ጠቅላላ ማስወገድ ችሎታ እና የስክረቻ አልባ የመጨረሻ ሂደቶች

የንሱስ ዲያሞንድ በተሻለ ኮሎይድ የተሰራ የተሰራ የፍሳሽ ትኩረት ቴክኒኮች በመጠቀም በአስተማማኝ የገላ ዘዴዎች ይልቅ በተደጋጋሚ በ40% በፍጥነት የחומריםን መስፋፋት ያስተዳድራል፣ ምንም እንኳ የፍታሕ ጥራት በተፈጥሯዊ ሁኔታ ይቆያል። ይህ ምን ያህል የሚከናወን የሚያደርገው አነስተኛው እና አንድ ክሪስታል መዋቅሩ ነው፣ ይህም በተጨማሪ የተሻለ ቁጥጥር በማሽን ማስተካከል ሂደት ያስተዳድራል። ውጤቱ? የחומרים መስፋፋት በሙሉ በተመሳሳይ ሁኔታ በሁሉም የፍታሕ አካል ላይ ይከናወናል፣ ይህም ሌሎች ዘዴዎችን የሚያሳዝኑ የስር የፍታሕ ትስስር ምልክቶችን ያስከብር አይደለም። የማምረቻዎች እነዚህን የንሱስ ዲያሞንድ ወደ በተለየ ሁኔታ የተዘጋጀ ፖሊመር ማትሪክስ ውስጥ ከማስገባቸው በኋላ የተለየ የስክሬች ስሌት ያልሶላቸው የፍታሕ ቅርጾችን የሚያመጣ ፒድ ይፈጥራሉ። ይህ ለሴሚኮንደክተር ወይፍር እና ለኦፕቲካል ክፍሎች እንዲሁ ለሌሎች አስፈላጊ ክፍሎች በጣም አስፈላጊ ነው፣ ምክንያቱም እጅግ ትንሽ ማንኛውም አለመደበኛነት በእነዚህ ክፍሎች ላይ በጣም አስፈላጊ ነው። በእነዚህ ዘመናዊ ፒዶች ጥቅም ላይ በማዋል ኩባንያዎች በጣም ትንሽ የፍታሕ ቅርጾችን (በላዘር ደረጃ) ያስተዳድራሉ፣ ይህም በጣም ትንሽ የፍታሕ ቅርጽ የሚሆንበት በ0.1 ሚክሮሜትር ያነሰ ነው። እና የተጨማሪ ጥቅም? የማምረቻ አሰራር የሚከናወኑ የማሽን ሂደቶች በተለምዶ ይቀንሳሉ፣ በተግባር የማምረቻ ዙርያዎች በ30% ይቀንሳሉ።

በናኖዲያሞንድ ፖሊሽ ፓድ ዲዛይን ውስጥ ያሉ ዋነኛ ቴክኖሎጂያዊ እድገቶች

ከኮሎይዳል ናኖዲያሞንድ ዲስፐርሽን የተገኘ ለተመሳሳይ አብራሲቭ አሰባሰብ

በኮሎይዳል ዲስፐርሽን መፍጠር ጊዜ፣ በመጀመሪያ እነዚህን ትንካታን ናኖዲያሞንድ ክስረቶች በማያዝ የሚችል የተረጋጋ የተፈጥሯዊ ፍሉይ መሰረት ውስጥ እንቀመጣለን፣ ከዚያም በፓድ ማትሪክስ ውስጥ እንሰራለን ምክንያቱም እነዚህ በሙሉ የፓድ የውሂብ አካል ላይ በተመሳሳይ መልኩ ይሰራሉ። በተለዋዋጭ አብራሲቭ የተደረገ ቁሳቁስ በተለምዶ በአንድ ቦታ ይሰብስባሉ ወይም በአንድ ቦታ ይዘለሉ፣ ይህም የተከስተው የጨረር ምልክቶችን እና የተለየ የፖሊሽ ማጠናከሪያ ውጤቶችን ያስከትላል። ነገር ግን በዚህ አቀራረብ ላይ ምንም የክለስተር ችግር የለም፣ እና የመጨረሻው ውጤት በሁሉም ጊዜ የተረጋጋ የሳብ-ሚክሮን ፖሊሽ ውጤት ነው። ለምሳሌ ሳемiconductor የዋፈር ፖሊሽ ሲደረግ እነዚህ ዃናኞች በትክክል መደረግ በጣም አስፈላጊ ነው። የፍሉይ ቪስኮስቲ በትክክል የሚያስፈልገውን መጠን መኖሩ አስፈላጊ ነው፣ እና የኤሌክትሮስታቲክ ጭነቶች በትክክል መታზን አስፈላጊ ነው። እንዲሁ በሚክሮን ደረጃ የሚፈጠር አንድ ትንሽ ማስቆረጥ ሙሉውን ቻይፕ ሊፈስቅ ይችላል እና ሰዓታት የሚወስደውን የትውልድ ጊዜ ያጎድላል።

በተቆጣጠረ ክስረት መጠን እና በተገናኘ ማትሪክስ ውስጥ የተደረገ የትክክለኛነት ምህንድስና

አሁን የሚጠቀሙት የናኖዲያሞንድ ፓድስ በክምችት ላይ የሚሰሩ አንድ የተወሰነ መጠን ያላቸው ክፍሎች (2–10 ኖማ) እና በተለየ ሁኔታ የተዘረጋሉ ፖሊመር ባህሪያት ይጠቀማሉ፣ እነዚህ ባህሪያት በከሚካል እና ማይክሮኒካል ፖሊሺንግ (CMP) ጊዜ ላይ የሚፈጸም የተጣራ ማገናኛ እና የተቆጣጠረ የተበላሽነት ሚዛን ያስከብረዋሉ። ዋና የቴክኖሎጂ ምርቶች የሚከተሉት ናቸው፡

• የመጠን ማስተናገድ ቴክኖሎጂ ፡ ክፍሎችን በ±0.5 ኖማ ትእዛዝ ውስጥ ይፈልጋል፣ ይህም የሚያስከትል የ viicroscratches አደገኛ ክፍሎችን ያስወግዳል
• የሙቀት ምላሽ የሚሰጡ ባህሪያት ፡ በስራ ላይ የሚገኙ የሙቀት መጠን ላይ በተለየ ሁኔታ ይሰቃዩ እና በአሁኑ ጊዜ የጨረር ጥንካ Shedding አቀማመጥ ያሻሽላሉ
• የተገናኙ ፖሊመሮች ፡ የፓድስ ዘላቂነትን በ40% ከባህላዊ ሬሲን-የተገናኙ ስርዓቶች በላይ ያሻሽላል

የዚህ ደረጃ የተቆጣጠረ ቁጥጥር በ3 ኖማ አቅጣጫ የሲሊኮን ወፍርስ ላይ የማይሰራጨው ማጠናቀቅ ለማድረግ ያስችለዋል፣ ይህ ጊዜ የፔርፊስ አዝራር በ0.2 ኖማ Ra ከታች መቆstands አለበት።

በእውነተኛ ሕይወት ውሳኔ፡ የናኖዲያሞንድ ፓድስ በሴሚኮንዶክተር እና ኦፕቲካል ምርት ዘርፍ

የካስ ሲቱዲ፡ በ3 ኖማ እና ከታች የሚገኙ ሴሚኮንዶክተር ወፍርስ ፖሊሺንግ ውስጥ የተወሰደ

ወደ እነዚያ 3nm ኖዶች ስንወርድ እና ትናንሽ ስንሆን፣ የአቶሚክ ደረጃ ወለል ጥራትን መጠበቅ በጣም አስፈላጊ ይሆናል። ባህላዊ የግሪት ዘዴዎች እነዚያን አስቸጋሪ ጥቃቅን ጭረቶችን ቢተዉም እና ከባለፈው ዓመት ሴሚኮንዳክተር ኢንጂነሪንግ መሠረት የምርት ኪሳራ ከ15% በላይ እንዲጨምሩ የሚያደርጉ የሙቀት መዛባትን ቢፈጥሩም ከእንግዲህ አይቆርጡትም። የናኖዲያመንድ ፓዶች የሚጫወቱት እዚህ ነው። እነዚህ ፓዶች በአንድ ጊዜ ሁለት ትላልቅ ችግሮችን ይፈታሉ። በመጀመሪያ፣ የኮሎይዳል ስርጭት ቅንጣቶች በማቀነባበር ወቅት እንዳይሰባሰቡ ይከላከላል። ሁለተኛ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት ማለት በዋፈር ላይ የሚፈጠሩ ትኩስ ቦታዎች አይፈጠሩም ማለት ነው፣ ይህም ካልሆነ በ EUV ሊቶግራፊ ውስጥ ካሉ ስስ ንብርብሮች ጋር ይጋጫል። እውነተኛው ዓለም ተጽእኖ? አምራቾች ከአሮጌው አልሙኒየም ሲስተሞች ጋር ሲነጻጸር 25% የተሻለ የቁሳቁስ ማስወገጃ እንደሚያገኙ ሪፖርት ያደርጋሉ፣ ሁሉም በአንግስትሮም ክፍልፋዮች የሚለካ የገጽታ ወጥነት እያገኙ ነው። ይህ ዓይነቱ ትክክለኛነት በተራቀቀ የሎጂክ እና የማህደረ ትውስታ ቺፕ ዲዛይኖች ወደፊት ስንገፋፋ ጉድለት የሌለበት ማጥራትን የበለጠ አስፈላጊ ያደርገዋል።

የከፍተኛ ትክክለኝነት የኦፕቲክስ እና የሌዘር-ደረጃ የፀላይ መጨረሻ መተግበሪያዎች

የኦፕቲክስ ማሰራጨት ሲነካ እነዚህ አነስተኛ የናኖዲያሞንድ ፓድስ በፋይብር ሳሊካ ያሉ የጭንቅላት ጥልቀት ውስጥ ያሉ የተለመዱ ትራኽቱርስ ለማስወገድ አስደሳች ሥራ ያደርጋሉ። እነዚህ አነስተኛ ትራኽቱርስ የሌዘር ማስተላለፊያውን መንገድ ይበከስባሉ፣ አንዳንድ ጊዜ የማስተላለፊያ ችሎታን በተመሳሳይ ሁኔታ በ30% ያህል ያቀንሳሉ። እነዚህ ፓድስ የሚለዩት በጣም ትክክለኛ ማስቆረጫ ችሎታ ላቸው ነው፣ በዚህም ምክንያት የተፈጠሩት የፍሬት ወይም የድንጋይ መጠን እጅግ ቀላል ናቸው፣ በእውነት የተወሰኑ ባህሪያት (Ra በ0.5 ንሜ በታች) አሉት። እንዲህ ያለ የፍሬት አቀማመጥ የግራቫዊታሽናል ሆነ ማዕከላዊ ሶስት ማዕዘን ማስተዋል፣ የኮосሚክ መኪና ሴንሰሮች በማሰራጨት እና የከፍተኛ ኃይል ያላቸው የሌዘር ማሽኖች በማስተዋል ወሳኝ ነው። ትላልቅ የአስተናጋጅ ማንገሻዎች የሴሪየም ኦክሳይድ የተመሰረቱ የቆዳ ማስተላለፊያ ዘዴዎችን በመተወው የናኖዲያሞንድ የተጠቀሙ የ_mirror_ ማስተላለፊያ ዘዴዎችን ተቀብለዋል፣ ምክንያቱም ይህ ዘዴ 99.8% የማስተላለፊያ ችሎታ ማግኘት ይችላል፣ እንዲህ ያለ የማስተላለፊያ ችሎታ የሴሪየም ኦክሳይድ የተመሰረቱ ዘዴዎች በማንኛውም ሁኔታ ማግኘት አይችሉም። እንዲሁም በተግባራዊ ጥቅሞች አቀባበል፣ በላቦራቶሪዎች የተጠቀመው ተመሳሳይ ቴክኖሎጂ በኢንዱስትሪያል የሌዘር የቁርጭ ክስተት ውስጥ ክሪስታሎችን የበለጠ ረጅም ጊዜ ለመጠቀም ያስችላል። ይህ የአገልግሎት ዘመንን በ20% ያህል የሚጨምር ማለት ነው፣ ይህም የጠቅላላ ወጪዎችን በጊዜ ውስጥ በከፍተኛ ሁኔታ የሚቀንስ ማለት ነው።

ተደጋጋሚ ጥያቄዎች

ናኖዲያሞንድ የፖሊሽ ፓድስ በተለዋዋጭ ግሪትስ ላይ ያሉት ዋነኛ ጥቅሞች ምን ናቸው?

ናኖዲያሞንድ የፖሊሽ ፓድስ በተለዋዋጭ አብራሲቮች ላይ የሚገኘውን የበለጠ ጥንካሬ፣ የአቀማመጥ አንድነት እና የሙቀት መቆጣጠር ችሎታ ይሰጣሉ፣ ይህም የחומרים ማስወገድ ፍጥነትን ይጨምራል እና የስክረቻ አልተከሰተባቸው የፊንሽ ውጤቶችን ያስከናወታል፣ በተጨማሪም የትምህርት ዘመንን ይቀንሳል።

ናኖዲያሞንድ ፓድስ እንዴት የሴሚኮንዳክተር ምስጢራዊ በረራዎች ለ3 ንማ ኮነስ የማምረት ሂደት ያሻሽላሉ?

ናኖዲያሞንድ ፓድስ የ viicro ስክረቻዎችን እና የሙቀት የተበላሹ መቀየሪያዎችን ይከላከላሉ፣ ይህም የያይልድ እንዳይቀንስ እና የፅሩ የፊት አንድነትን ያሻሽላል፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር ምስክር ላይ የአቶሚ- ደረጃ የፅሩ የፊት ጥራትን ለመጠበቅ አስፈላጊ ነው።

ናኖዲያሞንድ ፓድስ የከፍተኛ ትክክለኛነት የኦፕቲክስ ምስክር ላይ ምን ያህል የተሻሻለ የሆነ የቴክኖሎጂ አስተዋጽኦ ይሰጣሉ?

ናኖዲያሞንድ ፓድስ የሌዘር ደረጃ የሆነ የሚ Smooth የፊት ይሰጣሉ፣ በጣም ተወሳክ የሆነ ጥራት ያላቸው፣ ይህም የተላላፊነት ችሎታን እና የተመለስ ችሎታን ያሻሽላል፣ ይህም በግራቫዊታሽናል ዋቭ ዲቴክሽን እና በከፍተኛ ኢነርጂ የሌዘር ክስተቶች ውስጥ የሚጠቀሙ መተግበሪያዎችን ያጋለጠዋል።